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2020-12-18 15:38:23

百级无尘车间解决方案

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百级无尘车间解决方案

百级无尘车间在芯片,集成电路行业比较多,因对气流,温湿度,压差和照度要求相当高,所以在建造这类无尘车间时,平面规划相当关键。比如生产流程须顺畅,人和物的进入百级区域时,须通过风淋室处理自身的粉尘。

一、百级无尘车间主要参数

1.截面风速:0.4-0.5m/s;压差:主车间对相邻房间≥10Pa;

2.温度22±2℃  湿度50±5%,照度:750Lux

二、系统方案

1. 空气处理:百级洁净室主要是让室内空气形成上送下回单向流,所以要采用PAHU+AHU+FFU的空调方式,其中:PAHU为新风处理机组,AHU为空气处理机组,FFU为带风机的高效过滤器系统中加PAHU,洁净车间正压由PAHU风机马达变频控制,同时使室外环境的变化对洁净室的影响减小,对净化车间室的温、湿度控制有利。每个车间均为独立空调系统。净化空调机组AHU将从室内抽回的回风与新风机组PAHU处理过的新风混合,经过滤、冷却、加湿等处理后,送至洁净室天花板上的空间,再与由回风技术夹墙回到天花板上的室内空气混合经FFU送到室内。生产设备的局部排风由排洁净室的新风经PAHU的初、中效过滤后,再经冷却盘管处理后送给AHU。冷却盘管的冷却功能在新风需除湿时由中央冷源提供冷冻水实现。新、回混合风经AHU的过滤、冷却、加热、加湿处理:

a.冷却:由中央冷源提供冷冻水流经AHU盘管实现冷却功能。

b.过滤:空气经置于AHU内的初、中效过滤器的过滤,再经末端高效过滤器送至室内。

c.加热:由装在送风管中的电加热器实现加热功能,电加热器在此系统中只起辅助作用。

d.加湿:干蒸汽加湿器通过安装于送风管中的蒸汽喷管向空气中加湿。加湿器为电热式,其供水为RO水。

2. 空调系统:一般使用螺杆空调,预埋冷却盘管,天花满布FFU,做PAHU+AHU+FFU系统。

3. 百级无尘车间一般采用彩钢板做立墙和天花;

4. 门和窗户:采用气密性好,能有效减少冷量流失的双层玻璃洁净门窗

5. 地面:多采用防静电PVC地板、防静电环氧树脂自流地面,再加开孔防静电高架地板,且部份地板要安装调节阀等。


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